百乐博

电子数码显微镜查抄样品表观、裂纹、传染、划痕、氧化层缺点等

X射线检测机查抄键合线，芯片衔接和引线框架，浮泛气泡等

超声扫描查抄器件间的分层，芯片裂纹

扫描电镜和能谱分析样品的平面图和横截面显微组织查抄多层样品查抄和精确的临界尺寸丈量
；样品表表的分析元素进行定性和半定量分析

离子研磨机对样品的机械抛光的精密加工，微幼的裂纹和空地

热点定位分析系统侦测芯片表表异常的漏电失效点，以及样品的短路异常点

激光开帽机去除化合物，袒露裸片，观察裸片或引线键合缺点

切片研磨机样品结构的剖面展示，内部结构或者异常点